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3D光學輪廓儀測試的樣品要求以及常見問題
來源：測試GO 時間：2022-11-07 13:34:10 瀏覽：5894次

3D表面輪廓儀以白光干涉技術為原理，可以用來表征表面形貌，微觀結(jié)構(gòu)測量。廣泛應用于光學，半導體，材料，精密機械等等領域。

光學3D表面輪廓儀主要可以測量樣品表面的粗糙度和三維形貌、材料表面的起伏，平整度、凹坑的深度和面積；影像三坐標可以測試樣品的空間位置、平行度、垂直度以及對角線距離等。



白光三維光學顯微鏡/3D光學輪廓儀


先進的光學3D表面輪廓儀是確定MEMS設備表面特征的一種非常有用的工具。傳統(tǒng)意義上，光學輪廓儀被用來測量樣品的表面特性。但是，在測量過程中，所測量的樣品需保持在靜止的狀態(tài)下，如果樣品不穩(wěn)定或者處于運動狀態(tài)則會引起圖像混亂模糊、數(shù)據(jù)不完整或者數(shù)據(jù)丟失等現(xiàn)象。然而，對于MEMS設備，需要確定該設備處于運動狀態(tài)時的形貌特征，了解和確定其在運動狀態(tài)下的功能和特征對研發(fā)和生產(chǎn)質(zhì)量控制至關重要，作為質(zhì)量檢驗，只有動態(tài)測量才可以真正模擬MEMS實際運行狀態(tài)，從而達到真正的功能檢測，所以需要先進峰光學3D表面輪廓儀。


 

3D光學輪廓儀測試樣品要求

1. 樣品需平整；

2.樣品尺寸不超過50*50mm就可以

【注：3D光學輪廓儀最大掃描區(qū)域是600*400um，每次拼接會有30%區(qū)域重疊。】

 

3D光學輪廓儀測試常見問題

Q1、白光三維光學顯微鏡/3D光學輪廓儀/接觸式輪廓儀，是一樣的嗎？

不一樣。前兩個屬于同儀器，是無接觸式的光學照射測量，而接觸式輪廓儀也叫臺階儀，屬于探針接觸式的測量，都是用于材料表面形貌測試。

Q2、 測試樣品表面粗糙度可以給出哪些參數(shù)？

Ra（輪廓算術平均偏差）；Rq（均方根粗糙度）；Rz（微觀不平度十點高度）；Rp（最大輪廓波峰高度）；Rv（最大谷值）。


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全部 3小時前 四川
文字是人類用符號記錄表達信息以傳之久遠的方式和工具。現(xiàn)代文字大多是記錄語言的工具。人類往往先有口頭的語言后產(chǎn)生書面文字，很多小語種，有語言但沒有文字。文字的不同體現(xiàn)了國家和民族的書面表達的方式和思維不同。文字使人類進入有歷史記錄的文明社會。
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