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X射線光電子能譜（XPS）

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X射線光電子能譜（XPS）

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馬騁

XRD、UPS、XPS、DLS、GIXRD、2D-WAXD、AFM-IR測試工程師

具有多年XPS、DLS等操作經驗。精通XPS技術在材料表征上的應用，尤其在催化、電池材料的峰形處理方面具有豐富經驗和實操技能。同時，在DLS樣品制備和濃度效應分析上有獨到的理解和實踐經驗。

項目介紹

X射線光電子能譜法是一種表面分析方法，提供的是樣品表面的元素含量與形態。

如果輔以刻蝕手段，再利用XPS作為分析方法，則可以實現對樣品的深度分析。

一、XPS的特點

1. 可以分析除 H 和 He 以外的所有元素；

2. 提供有關化學鍵方面的信息，即直接測量價層電子及內層電子軌道能級；

3. 是一種高靈敏超微量的表面分析技術，分析所需試樣量極少，樣品分析深度為0.5-10nm 。

二、XPS的應用

1. 元素定性分析

2. 元素半定量分折

3. 元素的價態分析

樣品要求

1. a. 塊體/片狀/薄膜：長寬高（厚）不超出1 × 1 × 0.3 cm（磁性樣品長寬≤5mm，厚度≤2mm）（若需指定測試面需做好標記），金屬極片請真空封裝后送樣；b. 粉末樣品不少于10mg，請盡量使用樣品管寄送；c. 液體樣品需滴在云母片或硅片上烘干后送樣，標注好測試面，若直接寄送液體，實驗室需收取制樣費。

2. 含水或含高揮發性成分等會影響真空系統，送樣前請務必進行烘烤干燥處理。

3. 樣品含有硫、鹵族元素等揮發性元素或放射性元素，請務必提前告知，避免污染測試系統。

4. 原子百分含量小于5%的元素可能測不出明顯信號，H、He元素無法測試。

5. 測試設備默認為鋁（Al）靶，請知悉。

項目案例

XPS全譜

XPS 精細譜

XPS深度剖析

XPSmapping成像

常見問題
1、Mg靶與Al靶的區別？什么時候需要用Mg靶測試？

能量不同，分辨率不同，Mg靶分辨率高，Al靶能量高。通常使用Al靶測試即可，若遇到重疊譜峰的情況，如在利用Al 靶測試Fe、Co和Ni同時存在的樣品時受俄歇峰影響嚴重，通常換用Mg靶來移動俄歇峰，以消除干擾。

2、XPS可以測哪些元素？

可以測試除H和He以外的所有元素。

3、XPS表征的是樣品的表面還是體相？

表面10nm以內。

4、XPS中，測價帶譜的作用是什么？

計算價帶位置，及能帶中電子態密度隨能量的分布。

5、XPS測試分析價態的位置和參考文獻不一致怎么辦？

1.先確定分析數據前數據是否校準；

2.校準的方式和數據是否和文獻一致；

3.每個設備都有分辨率，XPS用鋁靶的能量分辨率是在小于等于0.5eV范圍，如果參考值在正負0.5eV之間變動，可認為沒有什么區別；

4.確定自己的化學價態是否在這個范圍內，一個化學價態是對應一個結合能范圍。

X射線光電子能譜（XPS）

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