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表面分析利器——TOF-SIMS飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀
來(lái)源: 時(shí)間:2023-12-11 11:32:02 瀏覽:10132次

TOF-SIMS(Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry)是通過(guò)用一次離子激發(fā)樣品表面,打出極其微量的二次離子,根據(jù)二次離子因不同的質(zhì)量而飛行到探測(cè)器的時(shí)間不同來(lái)測(cè)定離子質(zhì)量的極高分辨率的測(cè)量技術(shù)。

TOF-SIMS具有極高分辨率,可以提供表面,薄膜,界面以至于三維樣品的元素、分子等結(jié)構(gòu)信息,其特點(diǎn)在二次離子來(lái)自表面單個(gè)原子層分子層,僅帶出表面的化學(xué)信息,具有分析區(qū)域小、分析深度淺和不破壞樣品的特點(diǎn)。



TOF-SIMS 主要成分信息:元素(H-U)、同位素、分析鍵接等

適用材料:有機(jī)和無(wú)機(jī)材料

信息深度:1-2nm

剖析膜層深度:納米~微米

成分檢出限:~ppm

定量能力:需要標(biāo)準(zhǔn)樣品

TOF-SIMS應(yīng)用領(lǐng)域

一、刑偵


TOF-SIMS在刑偵科學(xué)中的應(yīng)用:指紋殘留物的化學(xué)成像 

TOF-SIMS下人民幣上指紋的離子像


由于TOF-SIMS能鑒定物質(zhì)結(jié)構(gòu),特別對(duì)有機(jī)分子的結(jié)構(gòu)鑒定,因此,通過(guò)TOF-SIMS成像的方式分析指紋,不僅能獲得比傳統(tǒng)方式更精細(xì)的形貌信息,還能獲得指紋上物質(zhì)化學(xué)成分的分布信息。例如利用TOF-SIMS對(duì)長(zhǎng)期流通過(guò)的人民幣表面上的指紋進(jìn)行化學(xué)成像分析,利用TOF-SIMS的技術(shù)優(yōu)勢(shì),顯現(xiàn)傳統(tǒng)方法無(wú)法顯現(xiàn)的潛在指紋;利用其空間分辨率高的優(yōu)勢(shì),獲取指紋中三級(jí)特征:利用其對(duì)物質(zhì)分子結(jié)構(gòu),特別是有機(jī)分子的鑒定能力,檢測(cè)指紋中的外源性物質(zhì),為此類(lèi)疑難樣品表面的指紋分析提供新的解決思路。


二、生物科學(xué)


骨骼肌中脂質(zhì)的TOF-SIMS成像


三、電池材料


TOF-SIMS深度剖析(3D 成像):鋰電池極片表面SEI層的成分和厚度


TOF-SIMS是一種質(zhì)量分辨并兼具時(shí)空分辨的技術(shù)。傳統(tǒng)的電化學(xué)研究手段與ToF-SIMS結(jié)合,能夠快速直接原位(ms級(jí))鑒定電化學(xué)反應(yīng)微量的中間體/產(chǎn)物(ppm水平甚至更低濃度),并同時(shí)關(guān)聯(lián)化學(xué)信息和電極/電解液界面空間信息,為揭示完整的電化學(xué)界面反應(yīng)物理化學(xué)圖像提供了可能性。


四、半導(dǎo)體材料


 硅油(Silicon Oil)污染的TOF-SIMS表面質(zhì)譜圖


TOF-SIMS可以分析所有的導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣材料,也同樣具備質(zhì)譜儀的「全周期表」元素分析特色,以及ppm等級(jí)的偵測(cè)靈敏度。除此之外,TOF-SIMS的橫向空間分辨率、縱深分析分辨率,非常適合像是多層膜結(jié)構(gòu)、微量摻雜及有機(jī)無(wú)機(jī)異物的分析,也補(bǔ)足XPS或FT-IR分析技術(shù)上偵測(cè)極限的范圍。


五、地質(zhì)考古

宋代華北油滴黑釉殘片油滴的正負(fù)二次離子圖像


TOF-SIMS分析技術(shù)具有針對(duì)元素或分子的微區(qū)成像和深度剖析功能, 高質(zhì)量分辨和高空間分辨特點(diǎn),且離子源多樣化,使其分析測(cè)試對(duì)象逐漸延伸到“小眾”領(lǐng)域,如考古文化遺存、古董、油畫(huà)、藝術(shù)品、古陶瓷等。


六、環(huán)境 


TOF-SIMS下污染過(guò)程大氣細(xì)顆粒物(PM2.5)


TOF-SIMS的不同工作模式可以應(yīng)用于氣溶膠研究的不同方面,靜態(tài)TOF-SIMS主要應(yīng)用于氣溶膠粒子表層分析和表面成像、氣溶膠粒子表面元素組成、表面化合物信息的獲取等;動(dòng)態(tài)TOF-SIMS主要應(yīng)用于單個(gè)氣溶膠粒子的深度剖析和三維成像。目前,已將TOF-SIMS應(yīng)用于氣溶膠粒子表面特征、化學(xué)組成深度分布特征、表面化學(xué)反應(yīng)、表面毒性、污染源排放特征研究等多個(gè)領(lǐng)域。TOF-SIMS技術(shù)可以較易獲得氣溶膠粒子各類(lèi)無(wú)機(jī)物和有機(jī)物的信息。

TOF-SIMS

TOF-SIMS作為重要的表面化學(xué)分析手段之一,在材料分析中的主要應(yīng)用:能源電池材料、半導(dǎo)體和電子器件、有機(jī)半導(dǎo)體(OLED & 鈣鈦礦)、礦物陶瓷、金屬、生物醫(yī)藥、聚合物等材料的表面分析和膜層結(jié)構(gòu)剖析。

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