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薄膜應力測試儀

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薄膜應力測試儀

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項目介紹

薄膜應力測試儀（Film Stress Tester, FST）  
型號：FST-5000  
儀器原理：激光曲率法，基于經典基片彎曲法Stoney公式測量原理，采用先進的激光掃描方式和探測技術，以及智能化的操作，使得FST5000薄膜應力儀特別適合于晶圓類光電薄膜樣品的弓高、輪廓形貌、曲率半徑和薄膜應力測量。
功能： 主要用于非破壞性檢測晶圓基底、薄膜等材料的輪廓形貌、弓高、翹曲度、曲率半徑和薄膜應力。可量化應力大小及分布，幫助優化工藝，避免因應力過大導致的晶圓翹曲、薄膜脫落等問題。適用材料包括二氧化硅（SiO?）、氮化硅（Si?N?）、GaN、SiC、金屬及低介電常數（Low-k）材料等。  
應用范圍：適合于晶圓類光電薄膜樣品的弓高、輪廓形貌、曲率半徑和薄膜應力測量。

樣品要求

1、樣品尺寸最大12英寸，向下兼容10、8、6、 4、 3、 2、 1英寸

2、薄膜厚度目前沒有明顯要求（一般說的薄膜或者晶圓，厚度都是微米級~幾個mm以內）

3、.薄膜應力測試范圍：5～10000 MPa

4、曲率半徑測試范圍：2～20000 m

5、最小步長：0.1 mm

6、需要提供薄膜的厚度值，作為評估和測試的參考

7、測試一般分為兩個步驟，先測一次沒有鍍膜的空白基底材料的曲率情況，鍍膜完成后再測一次鍍膜后引起的曲率變化，兩者相減，計算得到薄膜應力。因此最好是鍍膜前后分別送樣測試，可以得到準確的應力結果，如果一次性提供一片空白基底以及鍍膜以后的一片樣品一起測試，也可得到相關數值，但是結果準確度會有降低

8、數據輸出：含圖文，數據的pdf文件，或者excel數據表

項目案例

6英寸硅晶圓襯底弓高翹曲曲線

6英寸硅晶圓襯底表面3D形貌

TiN金屬薄膜表面3D形貌

3D輪廓

曲率/應力分布

弓高/翹曲度

薄膜應力測試儀

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如果在訂單完成之后7天內對結果存疑,可申請同條件免費復測，更換條件或者參數不能參與免費復測保障服務，全程由專業團隊操作，確保結果有效性；

2. 具體細則

每單限1次復測機會，單次需小于5個樣品; 此外免費復測樣品必須為同一樣，私人定制、云視頻測試不可享受此服務；

3. 注意事項

如果由于您自身樣品的情況(樣品有問題/選錯測試條件等)將不可享受此服務；

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