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俄歇電子能譜（AES）

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俄歇電子能譜（AES）

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項目介紹

俄歇電子能譜（Auger Electron Spectroscopy, AES）是用具有一定能量的電子束（或X射線）激發樣品俄歇效應，通過檢測俄歇電子的能量和強度，從而獲得有關材料表面化學成分和結構信息的方法。

AES主要可以用于：固體表面元素定性分析、表面表面微區分析（線掃描、面掃描）、原子的化學結合狀態分析、元素沿深度方向的分布分析、表面元素半定量分析等。

樣品要求

1. AES元素分析范圍為Li~U，只能測試無機物質，不能測試有機物物質，目前儀器檢出限為~3 atomic %；

2. 塊體/薄膜樣品尺寸不超過5 x 5 x 3mm；粉末樣品提供10mg；

3. 由于AES測試深度太淺，無法對樣品噴金后再測試，因此只能測試導電性較好的樣品，絕緣樣品無法測試；

4. 樣品制備好以后，盡可能真空密封送樣，避免樣品吸附空氣中的污染物，對表面測試造成影響；

5. 樣品在超高真空下必須穩定，無腐蝕性，無磁性，無揮發性等。

項目案例

常見問題
1、AES的優點是什么？

高空間分辨率。

2、俄歇電子能譜的逸出深度為多少？

樣品表面0.4-2nm。

3、俄歇電子能譜可以獲得哪些信息？

表層成分和表面化學態。

4、XPS中的俄歇譜與單獨的AES有什么區別？

XPS使用X射線激發，采集的俄歇譜峰能量分辨率高一些，有的譜峰能用于化學態識別；AES用電子束激發，會破壞有些材料的化學鍵，主要適合元素分析。AES的優點是高空間分辨率，如果不是分析微米納米級微區，就不需要使用AES。

俄歇電子能譜（AES）

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