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高分辨XRD（HRXRD）

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高分辨XRD（HRXRD）

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項目介紹

XRD是一種無損的研究材料結構的方法，HRXRD適合單晶或者外延膜等取向非常好的材料結構研究。

高分辨X射線衍射儀是半導體材料表征的標準裝備，常用于材料科學和納米技術、半導體材料和器件等的研究和生產質量控制。

儀器適用于各種薄膜樣品的測試應用，尤其適合外延薄膜和單晶晶圓的結構分析和表征。具體可以測試的內容如下（不限于）：

1. 搖擺曲線分析（omega-2theta, rocking curve）

2. 倒易空間圖（Reciprocal Space Mapping）

3. 外延關系判定（Phi-scan）

4. 反射率(XRR)

5. 掠入射表面深度分析(GIXRD)

6. 透射X射線衍射

7. 殘余應力(Residual stress)

8. 織構分析(texture)

9. 粉末和塊材物相鑒定(Phase analysis)

10. 小角X射線衍射（Small angle XRD）

涉及樣品種類包括（不限于）半導體晶圓、單晶、薄膜、藥品、金屬、納米材料、有機材料、礦石等。

樣品要求

樣品尺寸要求：厚度小于3mm ，長寬1x1mm2以上。

項目案例

高分辨XRD（HRXRD）

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